我公司历时多年,投入巨大的人力和资金,成功开发了MEMS惯性传感器四大系列产品。经广大顾客的使用,产品得到充分认可,目前,全系列产品已确定了技术标准、生产标准、测试标准。9月份将正式推向市场,并按照顾客的个体需求,进行批量生产。
SDI-ARG系列:角速率陀螺,30余种,量程在±35---±50,000(°/ S),包括单轴、三轴;通用型、温补型;
SDI-LAM系列:线加速度计,20余种,量程在±1.5 ---±400(g), 包括单轴、双轴;通用型、低噪声型;
SDI-IMU系列:惯性测量单元,可形成20余种组合,包括中精度、高精度单元;
SDI-TSL系列:倾角传感器,6种;量程在±15 ----±90( 。)
MEMS系列惯性产品简介
MEMS惯性传感器包括MEMS角速率陀螺和MEMS线加速度计两大类。MEMS角速率陀螺是没有旋转马达的固态角速率陀螺; MEMS线加速度计是没有质块移动的固态线加速度计。
我公司采用进口MEMS芯片,并以BIMOS生产工艺和载流焊及表贴工艺的生产技术,制造出一系列功能完整的角速率传感器和线加速度传感器。产品具有高可靠性和高封装坚固性。还具有自检测(Self Test)功能,可实现BIT(Built-In-Test)机内检测。
MEMS系列惯性产品的特性
⑴ 体积小:最小角速率陀螺只有14×14×7mm3。
⑵ 重量轻:最轻的角速率陀螺只有12克。
⑶ 单电源供电,功耗小:多为+5V供电,功耗仅6mA。
⑷ 测量范围很宽:角速率陀螺的测量范围:低中速型为5°/ S ∽1,000°/ S 高速型是1,000∽12,000°/ S
超高速可高达50,000°/ S 。
⑸ 耐冲击加速度能力很强:角速率陀螺的标称值多为2,000g;加速度计的标称值多为1,000g。经过有效的集成封
装后,耐冲击可提高十倍,达到20,000g。
⑹ 线性度好:一般为<0.5%F.R,最高可达0.05%F.R。
⑺ 几乎无迟滞:输出随输入在满量程范围内的电压值比较确定,作为控制信号和测量信号比较准确。
⑻ 带宽可调整:带宽可选≤500HZ的任一带宽;特殊产品的带宽可选≤1,000HZ的任一带宽。
(进口的MEMS 成品,一般不可调整)
⑼ 不可避免的噪声:零位附近存在随机噪声,大约5mV左右,不易滤掉。这种随机噪声随着角速率或加速度的产生
其作用不明显,作为控制信号和测量信号不受影响。如要对输出信号进行10秒内的积分也无大碍。
而>10秒的积分则需谨慎,可选噪声很小的去试。(须指出:可对输出信号进行1~4极的滤波,
以滤掉随机噪声以外的噪声,得到平滑的信号,以便更好的应用)
⑽ 温漂不可忽视:对于温差变化较大的用户,例如航空飞行器,应考虑温漂的影响,可选择温补型产品。